氮化硅陶瓷在芯片中的應(yīng)用

氮化硅粉的主要用途：根據(jù)不同領(lǐng)域的應(yīng)用要求，開發(fā)了一系列不同等級的氮化硅粉產(chǎn)品，廣泛應(yīng)用于高科技結(jié)構(gòu)陶瓷、各種耐磨材料、耐火材料等領(lǐng)域。在冶金領(lǐng)域。氮化硅材料作為一種新型耐火材料，應(yīng)用于冶金爐體、爐口密封、煉鐵爐出水口、鐵鉤非晶材料、煉鋼行業(yè)的氮添加劑等。

氮化硅陶瓷特點

氮化硅具有金剛石型三維晶格結(jié)構(gòu)，所以具有高溫?zé)岱€(wěn)定性、抗熱震性、化學(xué)穩(wěn)定性和良好的電絕緣性及質(zhì)硬性。

氮化硅陶瓷的應(yīng)用如此廣泛,但要完全 替代傳統(tǒng)材料還需要更進(jìn)一步的研究和探索原因是氮化硅在某些苛刻環(huán)境中工作時,仍然會發(fā)生腐蝕, 造成各種破壞,如高溫氧化、熔鹽腐蝕、酸堿腐蝕等。氮化硅陶瓷在磁力泵中，酸性潤滑介 質(zhì)會腐蝕陶瓷軸承；工業(yè)鋁電解過程中，電解質(zhì)對電解槽側(cè)壁有很強的腐蝕；陶瓷渦輪轉(zhuǎn)子在旋轉(zhuǎn)過程中，周圍環(huán)繞著高溫腐蝕氣體。

氮化硅陶瓷在空氣中剛開始空氣氧化的溫度1300~1400℃。

尺寸精度：*高可達(dá)0.003㎜

光潔度：*高可達(dá)Ra0.03

同心度：*高可達(dá)0.003㎜

平行度度：*高可達(dá)0.003㎜

內(nèi)孔：*小可加工0.04㎜

直槽：*窄可加工0.1㎜

厚度尺寸：*小可加工0.1㎜

螺紋：*小可加工內(nèi)螺紋M2，外螺紋不限

氮化硅陶瓷生產(chǎn)制造流程

成型過程：注凝技術(shù)是坯體中有機化合物成分較小,其摩爾質(zhì)量一般為3%～5%但抗壓強度較高,一般在10MPa之上可對坯體開展機械加工(車、磨、刨、銑、打孔、鋸等),進(jìn)而撤銷或降低煅燒后的生產(chǎn)加工。

燒結(jié)過程：重煅燒，重煅燒就是指將反映煅燒后的氮化硅坯體在煅燒改性劑存有的狀況下,放置氮化硅粉末狀中,隨后在高溫下開展重煅燒,進(jìn)而獲得高密度的氮化硅產(chǎn)品煅燒改性劑能夠在硅粉球磨機時導(dǎo)入,還可以用預(yù)浸的方式 在反映煅燒以后導(dǎo)入由于反映煅燒全過程可開展初步加工,在重煅燒全過程中的收攏*5%-10%,因此此方式 可制取特性*且樣子繁雜的構(gòu)件。

加工過程工業(yè)陶瓷塔輪加工雖然有許多方法，但加工成本高，加工效率低，加工精度差其主要原因之一是陶瓷的硬度非常高對于工業(yè)陶瓷未燒體或焙燒體主要用切削加工進(jìn)行粗加工，燒結(jié)后用磨削進(jìn)行精加工。工業(yè)陶瓷切割常用有三種方法：固定磨料切割、游離磨料切割和單刃切割高性能工業(yè)陶瓷應(yīng)用開發(fā)是以三相復(fù)合陶瓷材料ZTA為原料，研制生產(chǎn)的陶瓷拉制模具和陶瓷塔輪及其工業(yè)應(yīng)用產(chǎn)品實驗證明，ZTA材料所制成的陶瓷拉制模具和陶瓷塔輪完全可以替代工業(yè)上常用的硬質(zhì)合金拉制模具和金屬塔輪，在生產(chǎn)線上使用采用*的微波燒結(jié)技術(shù)，可提高材料的性能指標(biāo)，從而進(jìn)一步降低陶瓷拉制模具和陶瓷塔輪的制作成本。